为什么需要
半导体制造对冷却水纯度与稳定性要求严苛，结垢、腐蚀与微生物污染都会通过换热效率波动传导到工艺端。
实现方式
以窄区间水质控制为目标，ECD 除垢 + 在线监测 + 浓缩倍数优化组合，把 pH、电导率、浊度、腐蚀速率同时约束在工艺允许窗口内。
能力要点
- 多参数在线监测，窄区间闭环控制
- 减少药剂投加，降低离子引入
- 换热面清洁度可视，端差趋势可追溯
- 数据可对接厂务系统（FMCS）
问与答
电子半导体行业冷却水系统的核心价值是什么？
水质稳定与微污染控制，服务于工艺良率
它解决什么问题？
半导体制造对冷却水纯度与稳定性要求严苛，结垢、腐蚀与微生物污染都会通过换热效率波动传导到工艺端。
它是如何实现的？
以窄区间水质控制为目标，ECD 除垢 + 在线监测 + 浓缩倍数优化组合，把 pH、电导率、浊度、腐蚀速率同时约束在工艺允许窗口内。